Завод «Микрон» в Зеленограде — старейшее микроэлектронное производство в России с почти 50-летней историей. И сейчас завод остается режимным: пропускают туда только по номерам паспортов и с сопровождающими, «чужих» здесь нет. Корреспонденту «Газеты.Ru» посчастливилось облачиться в костюм инженера-микроэлектронщика и побывать в чистой комнате единственного в своем роде в России завода «Микрон» компании Sitronics в Зеленограде.
В так называемые чистые комнаты на заводах микроэлектроники не водят экскурсии и обычно не пускают журналистов. На инженеров, полностью упакованных в комбинезон, бахилы-сапожки и в маску, смотрят из-за стекла. Работать в этом костюме непросто: «космонавту» довольно душно, уши закрыты шапочкой, а поверх нее еще и капюшоном, маска немного мешает дышать. Впрочем, с заложенным носом здесь на работу не ходят — представьте, сколько губительных для микросхем частиц выпустит в воздух чихающий. Даже в раздевалке нужно соблюдать специальный регламент облачения в костюм, а сама она разделена на «чистую» и «грязную» зоны.
В чистую комнату нельзя брать никакие личные вещи, женщинам даже приходится избавляться от косметики на лице. Для диктофона и фотоаппарата сделали исключение, но их предварительно тщательно очистили от пыли специальной спиртовой салфеткой.
Причина таких строгих мер безопасности в том, что размер любой пылинки — не меньше микрометра, а детали топологической структуры микрочипов приближаются к нанометровым. Поэтому любой, даже невидимый глазу инородный элемент в воздухе способен загубить драгоценную кремниевую пластину с нанесенными на нее транзисторами. Именно поэтому чистые комнаты микроэлектронщиков в тысячу раз чище любой операционной. Производство работает 24 часа 7 дней в неделю, останавливаясь только для редких профилактик. Круглый год в комнатах поддерживаются постоянная температура и давление чуть выше атмосферного. Это сделано для того, чтобы при открытии дверей чистой комнаты воздух только выходил из нее. Воздух туда попадает через потолок, представляющий собой большой сетчатый фильтр с порами диаметром 0,25 мкм и уходит через фальшпол. Воздух в чистом помещении полностью меняется каждые несколько минут.
Так обеспечивается не только его высокая чистота, но и ламинарность потоков воздуха, отсутствие завихрений — это тоже важно для качественного производства микросхем.
Цикл полного производства одной пластины (которую потом нарезают на отдельные микрочипы) занимает полтора-три месяца. Четверть и более этого времени уходит на контрольные операции на каждой стадии нанесения микросхемы, многие из которых выполняются не автоматикой, а людьми: даже самое совершенное компьютерное зрение не достигло той скорости и качества анализа данных, с которой работает человек, анализирующий данные электронного микроскопа на экране компьютера. В результате, несмотря на всю сложность процесса изготовления чипа, выход качественной продукции составляет 90—95%.
В чистых комнатах завода около 200 единиц оборудования проводят до тысячи микроопераций. В процессе обработки кремниевой пластины ее ни разу не касается человек: на каждом участке производственной цепи машины сами извлекают пластины из специального пластикового держателя и возвращают их туда после необходимой модификации. Сотрудники — инженеры самого высокого профиля, многие работали или прошли переподготовки на микроэлектронных производствах Европы. Везде царит строгий порядок: «судьба» каждой партии кремниевых пластин документируется дважды — автоматически и вручную (инженер заполняет специальный паспорт, где документируются все операции, которые были проведены).
skin: article/incut(default)
data:
{
"_essence": "test",
"incutNum": 3,
"picsrc": "Основное сырье для микроэлектроники - песок, кремниевые заготовки и пластины-подложки для производства (выращивания) чипов//\"Микрон",
"repl": "<3>:{{incut3()}}",
"uid": "_uid_3976569_i_3"
}
Будущие чипы готовы — их тщательно измеряют, затем пластину делят на отдельные чипы и «корпусируют» в зависимости от назначения.
Сегодня на заводе «Микрон» на базе технологии 180 нм производят RFID-чипы для бесконтактных карт метро и наземного транспорта, сим-карты, чипы для универсальных электронных карт. В ближайшее время открывается новая производственная линия на базе технологии 90 нм, ее продукция необходима для цифрового ТВ, сим-карт с электронной подписью, электронных паспортов и идентификаторов. Около 25% производственной линии 180 нм работает на экспорт, в Китай. Там из чипов на пластинах диаметром 200 мм делают карты доступа, электронные ключи для жилых домов и гостиниц. В Китай поставляют и аналоговые схемы управления питанием.
В планах открытие еще более современных производств микросхем с топологическим уровнем 65—45 нм на пластинах 300 мм.
skin: article/incut(default)
data:
{
"_essence": "test",
"incutNum": 4,
"pic2": "/files3/569/3976569/DSC00548.JPG",
"picsrc": "Готовые микрочипы//\"Микрон\"",
"repl": "<4>:{{incut4()}}",
"uid": "_uid_3976569_i_4"
}
Еще одна принципиально важная область применения — микроэлектроника для космоса. Микрочипы с «Микрона» уже поставляются на одно из ведущих ракетно-космических предприятий России — самарское ЦСКБ «Прогресс».
До последнего времени российским космическим предприятиям приходилось работать с импортными комплектующими, не приспособленными для длительной работы в жестких условиях космоса — главным образом высокого излучения.
«Зачастую вы не можете купить на свободном рынке электронику с нужным уровнем защиты. Ряд стран-производителей вводят запрет на экспорт таких стратегически важных компонентов, некоторые поставщики не отказывают напрямую, но ссылаются на длительный срок ожидания — до пяти лет. Сегодня на «Микроне» на базе нашего дизайн-центра мы разработали микроэлектронные решения, полностью адаптированные и сертифицированные для работы в условиях жесткого излучения, то есть в космосе», — пояснил заместитель главного конструктора «Микрона» доктор физико-математических наук Григорий Хренов.
